{"id":12763,"date":"2019-12-18T01:57:13","date_gmt":"2019-12-18T01:57:13","guid":{"rendered":"https:\/\/www.radiation-dosimetry.org\/was-ist-siliziumbasierter-halbleiterdetektor-definition\/"},"modified":"2021-07-13T12:52:26","modified_gmt":"2021-07-13T12:52:26","slug":"was-ist-siliziumbasierter-halbleiterdetektor-definition","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/www.radiation-dosimetry.org\/de\/was-ist-siliziumbasierter-halbleiterdetektor-definition\/","title":{"rendered":"Siliciumdetektoren &#8211; Definition &#8211; Funktionsprinzip"},"content":{"rendered":"<div class=\"su-quote su-quote-style-default\">\n<div class=\"su-quote-inner su-u-clearfix su-u-trim\">Siliciumdetektoren werden haupts\u00e4chlich f\u00fcr Detektoren f\u00fcr geladene Teilchen (insbesondere zum Verfolgen geladener Teilchen) und f\u00fcr weiche R\u00f6ntgendetektoren verwendet.<\/div>\n<\/div>\n<div class=\"su-divider su-divider-style-dotted\"><\/div>\n<div class=\"lgc-column lgc-grid-parent lgc-grid-100 lgc-tablet-grid-100 lgc-mobile-grid-100 lgc-equal-heights lgc-first lgc-last\">\n<div class=\"inside-grid-column\">\n<figure id=\"attachment_26115\" class=\"wp-caption alignright\" aria-describedby=\"caption-attachment-26115\"><a href=\"https:\/\/www.radiation-dosimetry.org\/wp-content\/uploads\/2019\/12\/silicon-strip-detector-semiconductors.png\"><img loading=\"lazy\" class=\"size-medium wp-image-26115\" src=\"https:\/\/www.radiation-dosimetry.org\/wp-content\/uploads\/2019\/12\/silicon-strip-detector-semiconductors-300x197.png\" alt=\"Siliziumstreifendetektor - Halbleiter\" width=\"300\" height=\"197\" \/><\/a><figcaption id=\"caption-attachment-26115\" class=\"wp-caption-text\">Silicium Strip Detector Quelle: micronsemiconductor.co.uk<\/figcaption><\/figure>\n<p>Siliciumdetektoren werden haupts\u00e4chlich f\u00fcr Detektoren f\u00fcr geladene Teilchen (insbesondere zum <strong>Verfolgen geladener Teilchen<\/strong>\u00a0) und weiche R\u00f6ntgendetektoren verwendet, w\u00e4hrend Germanium f\u00fcr die Gammastrahlenspektroskopie weit verbreitet ist.\u00a0Ein gro\u00dfer, sauberer und nahezu perfekter Halbleiter ist ideal als Z\u00e4hler f\u00fcr\u00a0<a href=\"https:\/\/www.nuclear-power.com\/nuclear-engineering\/radiation-protection\/radioactivity-nuclear-decay\/\">Radioaktivit\u00e4t<\/a> .\u00a0Es ist jedoch schwierig, gro\u00dfe Kristalle mit ausreichender Reinheit herzustellen.\u00a0Die Halbleiterdetektoren haben daher einen geringen Wirkungsgrad, geben jedoch ein sehr genaues Ma\u00df f\u00fcr die Energie. Siliciumdetektoren weisen auch bei Raumtemperatur ein ausreichend geringes Rauschen auf.\u00a0Dies wird durch die\u00a0<strong>gro\u00dfe Bandl\u00fccke verursacht<\/strong>aus Silicium (Egap = 1,12 eV), wodurch wir den Detektor bei Raumtemperatur betreiben k\u00f6nnen, aber K\u00fchlung wird bevorzugt, um das Rauschen zu reduzieren. Der Nachteil ist, dass Siliziumdetektoren viel teurer sind als Wolkenkammern oder Drahtkammern und eine ausgekl\u00fcgelte K\u00fchlung erfordern, um Leckstr\u00f6me (Rauschen) zu reduzieren. Sie werden im Laufe der Zeit auch durch Strahlung abgebaut, dies kann jedoch dank des Lazarus-Effekts erheblich verringert werden.<\/p>\n<h2>Funktionsprinzip von Siliciumdetektoren<\/h2>\n<p>Die Funktionsweise von Halbleiterdetektoren ist in folgenden Punkten zusammengefasst:<\/p>\n<ul>\n<li><strong>Ionisierende Strahlung tritt in<\/strong>\u00a0das empfindliche Volumen des Detektors ein und interagiert mit dem Halbleitermaterial.<\/li>\n<li>Durch den Detektor gelangende Teilchen ionisieren die Atome des Halbleiters und erzeugen die\u00a0<strong>Elektronen-Loch-Paare<\/strong>\u00a0.\u00a0Die Anzahl der Elektronen-Loch-Paare ist proportional zur Energie der Strahlung zum Halbleiter.\u00a0Infolgedessen wird eine Anzahl von Elektronen vom Valenzband zum Leitungsband \u00fcbertragen, und es wird eine gleiche Anzahl von L\u00f6chern im Valenzband erzeugt.<\/li>\n<li>Unter dem Einfluss eines elektrischen Feldes wandern Elektronen und L\u00f6cher zu den Elektroden, wo sie zu einem\u00a0<strong>Impuls f\u00fchren<\/strong>\u00a0, der in einem \u00e4u\u00dferen Stromkreis gemessen werden kann.<\/li>\n<li>Dieser Impuls gibt Auskunft \u00fcber die Energie der urspr\u00fcnglich einfallenden Strahlung.\u00a0Die Anzahl solcher Impulse pro Zeiteinheit gibt auch Auskunft \u00fcber die Intensit\u00e4t der Strahlung.<\/li>\n<\/ul>\n<p>Die zur Erzeugung von Elektronen-Loch-Paaren erforderliche Energie ist sehr gering im Vergleich zu der Energie, die zur Erzeugung von Ionenpaaren in einem\u00a0<a href=\"https:\/\/www.nuclear-power.com\/nuclear-engineering\/radiation-detection\/gaseous-ionization-detector\/\">Gasionisationsdetektor<\/a> erforderlich ist . Bei Halbleiterdetektoren ist die statistische Variation der Impulsh\u00f6he kleiner und die Energieaufl\u00f6sung h\u00f6her. Da sich die Elektronen schnell fortbewegen, ist auch die Zeitaufl\u00f6sung sehr gut. Im Vergleich zu Gasionisationsdetektoren ist die Dichte eines Halbleiterdetektors sehr hoch und geladene Teilchen mit hoher Energie k\u00f6nnen ihre Energie in einem Halbleiter mit relativ kleinen Abmessungen abgeben.<\/p>\n<\/div>\n<\/div>\n<h2>Anwendung von Siliciumdetektoren<\/h2>\n<p>Da Siliciumdetektoren\u00a0sehr gut zur Verfolgung geladener Teilchen\u00a0<strong>geeignet<\/strong> sind, bilden sie einen wesentlichen Teil des Detektionssystems am LHC im CERN.\u00a0Die meisten Siliciumpartikeldetektoren arbeiten im Prinzip, indem sie schmale (normalerweise etwa 100 Mikrometer breite)\u00a0<strong>Siliciumstreifen<\/strong>\u00a0dotieren\u00a0, um sie in Dioden umzuwandeln, die dann in Sperrrichtung vorgespannt werden.\u00a0Wenn geladene Teilchen diese Streifen passieren, verursachen sie kleine Ionisationsstr\u00f6me, die erfasst und gemessen werden k\u00f6nnen.\u00a0Das Anordnen von Tausenden dieser Detektoren um einen Kollisionspunkt in einem Teilchenbeschleuniger kann ein genaues Bild davon liefern, welchen Weg Teilchen nehmen.\u00a0Beispielsweise enth\u00e4lt das Inner Tracking System (ITS)\u00a0<strong>eines Large Ion Collider-Experiments (ALICE)<\/strong>\u00a0drei Schichten von Detektoren auf Siliziumbasis:<\/p>\n<ul>\n<li>Silicon Pixel detektor (SPD)<\/li>\n<li>Silicon Drift Detector (SDD)<\/li>\n<li>Silicon Strip Detector (SSD)<\/li>\n<\/ul>\n<h3>Siliciumstreifendetektoren<\/h3>\n<p><strong>Detektoren auf Siliziumbasis<\/strong>\u00a0eignen sich sehr gut zur Verfolgung geladener Teilchen.\u00a0Ein Siliziumstreifendetektor ist eine Anordnung von streifenf\u00f6rmig geformten Implantaten, die als Ladungssammelelektroden wirken.<\/p>\n<p><strong>Siliziumstreifendetektoren mit einer<\/strong>\u00a0Fl\u00e4che von\u00a05 x 5 cm\u00a0<sup>2<\/sup>\u00a0sind weit verbreitet und werden in Reihe verwendet (genau wie Ebenen von\u00a0<a href=\"https:\/\/www.nuclear-power.com\/nuclear-engineering\/radiation-detection\/gaseous-ionization-detector\/proportional-counter-proportional-detector\/multi-wire-proportional-chamber-mwpc\/\">MWPCs<\/a>) Trajektorien geladener Teilchen mit Positionsgenauigkeiten in der Gr\u00f6\u00dfenordnung von mehreren \u03bcm in Querrichtung zu bestimmen.\u00a0Diese Implantate werden auf einem niedrig dotierten, vollst\u00e4ndig abgereicherten Siliziumwafer platziert und bilden eine eindimensionale Anordnung von Dioden.\u00a0Durch Verbinden jedes der metallisierten Streifen mit einem ladungsempfindlichen Verst\u00e4rker wird ein positionsempfindlicher Detektor aufgebaut.\u00a0Zweidimensionale Positionsmessungen k\u00f6nnen durch Aufbringen einer zus\u00e4tzlichen streifenartigen Dotierung auf die Waferr\u00fcckseite unter Verwendung einer doppelseitigen Technologie erreicht werden.\u00a0Solche Vorrichtungen k\u00f6nnen verwendet werden, um kleine Aufprallparameter zu messen und dadurch zu bestimmen, ob ein geladenes Teilchen aus einer Prim\u00e4rkollision stammt oder das Zerfallsprodukt eines Prim\u00e4rteilchens war, das eine kleine Strecke von der urspr\u00fcnglichen Wechselwirkung zur\u00fcckgelegt und dann zerfallen ist.<\/p>\n<p><strong>Siliziumstreifendetektoren sind<\/strong>\u00a0ein wesentlicher Bestandteil des Detektionssystems am LHC im CERN.\u00a0Die meisten Siliziumpartikeldetektoren arbeiten im Prinzip, indem sie schmale (normalerweise etwa 100 Mikrometer breite) Siliziumstreifen dotieren, um sie in Dioden umzuwandeln, die dann in Sperrrichtung vorgespannt werden.\u00a0Wenn geladene Teilchen diese Streifen passieren, verursachen sie kleine Ionisationsstr\u00f6me, die erfasst und gemessen werden k\u00f6nnen.\u00a0Das Anordnen von Tausenden dieser Detektoren um einen Kollisionspunkt in einem Teilchenbeschleuniger kann ein genaues Bild davon liefern, welchen Weg Teilchen nehmen.<\/p>\n<p>Beispielsweise enth\u00e4lt das Inner Tracking System (ITS)\u00a0<strong>eines Large Ion Collider-Experiments (ALICE)<\/strong>\u00a0drei Schichten von Detektoren auf Siliziumbasis:<\/p>\n<ul>\n<li>Silicon Pixel detektor (SPD)<\/li>\n<li>Silicon Drift Detector (SDD)<\/li>\n<li>Silicon Strip Detector (SSD)<\/li>\n<\/ul>\n<h3>Delta E &#8211; E Detektor &#8211; Teleskop<\/h3>\n<figure id=\"attachment_26114\" class=\"wp-caption alignright\" aria-describedby=\"caption-attachment-26114\"><a href=\"https:\/\/www.radiation-dosimetry.org\/wp-content\/uploads\/2019\/12\/delta-E-E-Telescope-chart.png\"><img loading=\"lazy\" class=\"size-medium wp-image-26114 lazy-loaded\" src=\"https:\/\/www.radiation-dosimetry.org\/wp-content\/uploads\/2019\/12\/delta-E-E-Telescope-chart-300x200.png\" alt=\"Delta E - E Teleskop - Diagramm\" width=\"300\" height=\"200\" data-lazy-type=\"image\" data-src=\"https:\/\/www.radiation-dosimetry.org\/wp-content\/uploads\/2019\/12\/delta-E-E-Telescope-chart-300x200.png\" \/><\/a><figcaption id=\"caption-attachment-26114\" class=\"wp-caption-text\">Beispiel eines Histogramms vom \u0394E-E-Detektor.\u00a0Jede hyperbola\u00e4hnliche Kurve repr\u00e4sentiert unterschiedliche Partikel im Strahl.<\/figcaption><\/figure>\n<p>In der experimentellen Physik sind\u00a0<strong>\u0394E-E-Detektoren<\/strong>\u00a0, sogenannte\u00a0<strong>Teleskope<\/strong>\u00a0, leistungsstarke Ger\u00e4te zur\u00a0<strong>Identifizierung geladener Teilchen<\/strong>\u00a0.\u00a0Zur Identifizierung geladener Teilchen k\u00f6nnen Teleskope verwendet werden, die aus Paaren\u00a0<strong>d\u00fcnner<\/strong>\u00a0und\u00a0<strong>dicker<\/strong>\u00a0Oberfl\u00e4chensperrendetektoren\u00a0bestehen\u00a0.\u00a0Diese Detektoren m\u00fcssen in Reihe geschaltet werden.\u00a0Die Geschwindigkeit wird aus der in den D\u00fcnndetektoren (\u00a0<strong>\u0394E-Detektoren<\/strong>\u00a0)\u00a0gemessenen\u00a0<strong>Bremskraft abgeleitet<\/strong>\u00a0.\u00a0Es besteht eine starke Korrelation zwischen der in jedem Detektor abgelagerten Energie.\u00a0Diese Korrelation h\u00e4ngt von der Masse (A), der Ladung (Z) und der kinetischen Energie (E) jedes Teilchens ab.\u00a0Die Masse wird aus dem Bereich oder aus dem gesamten kinetischen Energieverlust im dickeren Detektor abgeleitet (<strong>E Detektor<\/strong>\u00a0).<\/p>\n<p><strong>Teleskope<\/strong>\u00a0k\u00f6nnen aus mehreren Detektoren bestehen (\u00a0z. B.\u00a0<a href=\"https:\/\/www.nuclear-power.com\/nuclear-engineering\/radiation-detection\/gaseous-ionization-detector\/ionization-chamber-ion-chamber\/\">Ionisationskammern<\/a>\u00a0,\u00a0<strong>Siliziumdetektoren<\/strong>\u00a0und\u00a0<a href=\"https:\/\/www.nuclear-power.com\/nuclear-engineering\/radiation-detection\/scintillation-counter-scintillation-detector\/\">Szintillatoren<\/a>\u00a0), die gestapelt sind, um einfallende geladene Teilchen zu verlangsamen, wobei der erste Detektor der d\u00fcnnste und der letzte der dickste ist.\u00a0CsI-Szintillationsz\u00e4hler k\u00f6nnen beispielsweise als endg\u00fcltige E-Z\u00e4hler verwendet werden.\u00a0Als Beispiel eines Teleskops kann eine Anordnung verwendet werden, die auf zwei vorderen \u0394E-Siliziumdetektoren (10 oder 30 um) und einem 1500 um dicken E-Siliziumz\u00e4hler basiert, um hochenergetische geladene Teilchen zu detektieren.<\/p>\n<div class=\"lgc-column lgc-grid-parent lgc-grid-100 lgc-tablet-grid-100 lgc-mobile-grid-100 lgc-equal-heights lgc-first lgc-last\">\n<div class=\"inside-grid-column\">\n<p>&nbsp;<\/p>\n<\/div>\n<\/div>\n","protected":false},"excerpt":{"rendered":"<p>Siliciumdetektoren werden haupts\u00e4chlich f\u00fcr Detektoren f\u00fcr geladene Teilchen (insbesondere zum Verfolgen geladener Teilchen) und f\u00fcr weiche R\u00f6ntgendetektoren verwendet. Silicium Strip Detector Quelle: micronsemiconductor.co.uk Siliciumdetektoren werden haupts\u00e4chlich f\u00fcr Detektoren f\u00fcr geladene Teilchen (insbesondere zum Verfolgen geladener Teilchen\u00a0) und weiche R\u00f6ntgendetektoren verwendet, w\u00e4hrend Germanium f\u00fcr die Gammastrahlenspektroskopie weit verbreitet ist.\u00a0Ein gro\u00dfer, sauberer und nahezu perfekter Halbleiter ist &#8230; <a title=\"Siliciumdetektoren &#8211; Definition &#8211; Funktionsprinzip\" class=\"read-more\" href=\"https:\/\/www.radiation-dosimetry.org\/de\/was-ist-siliziumbasierter-halbleiterdetektor-definition\/\" aria-label=\"Mehr dazu unter Siliciumdetektoren &#8211; Definition &#8211; Funktionsprinzip\">Weiterlesen<\/a><\/p>\n","protected":false},"author":1,"featured_media":0,"comment_status":"closed","ping_status":"closed","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":[],"categories":[48],"tags":[],"yoast_head":"<!-- This site is optimized with the Yoast SEO plugin v15.4 - https:\/\/yoast.com\/wordpress\/plugins\/seo\/ -->\n<title>Siliciumdetektoren - Definition - Funktionsprinzip<\/title>\n<meta name=\"description\" content=\"Siliciumdetektoren werden haupts\u00e4chlich f\u00fcr Detektoren f\u00fcr geladene Teilchen (insbesondere zum Verfolgen geladener Teilchen) und f\u00fcr weiche R\u00f6ntgendetektoren verwendet.\" \/>\n<meta name=\"robots\" content=\"index, follow, max-snippet:-1, max-image-preview:large, max-video-preview:-1\" \/>\n<link rel=\"canonical\" href=\"http:\/\/www.radiation-dosimetry.org\/de\/was-ist-siliziumbasierter-halbleiterdetektor-definition\/\" \/>\n<meta property=\"og:locale\" content=\"de_DE\" \/>\n<meta property=\"og:type\" content=\"article\" \/>\n<meta property=\"og:title\" content=\"Siliciumdetektoren - Definition - Funktionsprinzip\" \/>\n<meta property=\"og:description\" content=\"Siliciumdetektoren werden haupts\u00e4chlich f\u00fcr Detektoren f\u00fcr geladene Teilchen (insbesondere zum Verfolgen geladener Teilchen) und f\u00fcr weiche R\u00f6ntgendetektoren verwendet.\" \/>\n<meta property=\"og:url\" content=\"http:\/\/www.radiation-dosimetry.org\/de\/was-ist-siliziumbasierter-halbleiterdetektor-definition\/\" \/>\n<meta property=\"og:site_name\" content=\"Radiation Dosimetry\" \/>\n<meta property=\"article:published_time\" content=\"2019-12-18T01:57:13+00:00\" \/>\n<meta property=\"article:modified_time\" content=\"2021-07-13T12:52:26+00:00\" \/>\n<meta property=\"og:image\" content=\"https:\/\/www.radiation-dosimetry.org\/wp-content\/uploads\/2019\/12\/silicon-strip-detector-semiconductors-300x197.png\" \/>\n<meta name=\"twitter:card\" content=\"summary_large_image\" \/>\n<meta name=\"twitter:label1\" content=\"Verfasst von\">\n\t<meta name=\"twitter:data1\" content=\"Nick Connor\">\n\t<meta name=\"twitter:label2\" content=\"Gesch\u00e4tzte Lesezeit\">\n\t<meta name=\"twitter:data2\" content=\"4\u00a0Minuten\">\n<script type=\"application\/ld+json\" class=\"yoast-schema-graph\">{\"@context\":\"https:\/\/schema.org\",\"@graph\":[{\"@type\":\"WebSite\",\"@id\":\"https:\/\/www.radiation-dosimetry.org\/#website\",\"url\":\"https:\/\/www.radiation-dosimetry.org\/\",\"name\":\"Radiation Dosimetry\",\"description\":\"\",\"potentialAction\":[{\"@type\":\"SearchAction\",\"target\":\"https:\/\/www.radiation-dosimetry.org\/?s={search_term_string}\",\"query-input\":\"required name=search_term_string\"}],\"inLanguage\":\"de\"},{\"@type\":\"ImageObject\",\"@id\":\"http:\/\/www.radiation-dosimetry.org\/de\/was-ist-siliziumbasierter-halbleiterdetektor-definition\/#primaryimage\",\"inLanguage\":\"de\",\"url\":\"\",\"caption\":\"Silicin Strip Detector Quelle: micronsemiconductor.co.uk\"},{\"@type\":\"WebPage\",\"@id\":\"http:\/\/www.radiation-dosimetry.org\/de\/was-ist-siliziumbasierter-halbleiterdetektor-definition\/#webpage\",\"url\":\"http:\/\/www.radiation-dosimetry.org\/de\/was-ist-siliziumbasierter-halbleiterdetektor-definition\/\",\"name\":\"Siliciumdetektoren - Definition - Funktionsprinzip\",\"isPartOf\":{\"@id\":\"https:\/\/www.radiation-dosimetry.org\/#website\"},\"primaryImageOfPage\":{\"@id\":\"http:\/\/www.radiation-dosimetry.org\/de\/was-ist-siliziumbasierter-halbleiterdetektor-definition\/#primaryimage\"},\"datePublished\":\"2019-12-18T01:57:13+00:00\",\"dateModified\":\"2021-07-13T12:52:26+00:00\",\"author\":{\"@id\":\"https:\/\/www.radiation-dosimetry.org\/#\/schema\/person\/e8c544db9afedaec8574d6464f9398bb\"},\"description\":\"Siliciumdetektoren werden haupts\\u00e4chlich f\\u00fcr Detektoren f\\u00fcr geladene Teilchen (insbesondere zum Verfolgen geladener Teilchen) und f\\u00fcr weiche R\\u00f6ntgendetektoren verwendet.\",\"inLanguage\":\"de\",\"potentialAction\":[{\"@type\":\"ReadAction\",\"target\":[\"http:\/\/www.radiation-dosimetry.org\/de\/was-ist-siliziumbasierter-halbleiterdetektor-definition\/\"]}]},{\"@type\":\"Person\",\"@id\":\"https:\/\/www.radiation-dosimetry.org\/#\/schema\/person\/e8c544db9afedaec8574d6464f9398bb\",\"name\":\"Nick Connor\"}]}<\/script>\n<!-- \/ Yoast SEO plugin. -->","_links":{"self":[{"href":"https:\/\/www.radiation-dosimetry.org\/de\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/12763"}],"collection":[{"href":"https:\/\/www.radiation-dosimetry.org\/de\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/www.radiation-dosimetry.org\/de\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.radiation-dosimetry.org\/de\/wp-json\/wp\/v2\/users\/1"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.radiation-dosimetry.org\/de\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=12763"}],"version-history":[{"count":1,"href":"https:\/\/www.radiation-dosimetry.org\/de\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/12763\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":23258,"href":"https:\/\/www.radiation-dosimetry.org\/de\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/12763\/revisions\/23258"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/www.radiation-dosimetry.org\/de\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=12763"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.radiation-dosimetry.org\/de\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=12763"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.radiation-dosimetry.org\/de\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=12763"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}